JSM-6510系列主要特点：

1.保证分辨率 (Resolution)

钨灯丝电子枪时高真空模式：3.0nm（30kV）, 8.0nm（3kV），15nm（1kV）

低真空模式：4.0nm（30kV）（选项）

JSM-6510系列既有高加速电压下的高分辨率，也有低加速电压下高分辨率。

2.全自动电子枪 (Fully Automated Electron Gun)

当真空度达到要求后，只需按下HT按钮，从加速电压的提升，到图像的出现全部自动完成。自动功能包括：自动电子枪加热、无缝自动偏压、自动合轴、自动聚焦、自动适时聚焦、自动亮度、自动对比度、自动消像散、自动像散记忆等。

3.无缝自动偏压（Seamless automatic bias）

在全加速电压范围（包含低加速电压范围）内，实现无缝自动偏压，图像亮度、信噪比优化，即使在低电压时，图像质量也大大提高。

4.大视野观察范围（Large Field of View）

最低倍数为5倍，可观测到2厘米见方的样品，便于查找观察位置。

5.图象电气移动距离大（Large Electrical Image Shift）

图象电气移动距离大：+/-50μm，WD=10mm。

6.高性能的变焦聚光镜系统 (Precision Zoom Condenser lens) （专利）

照射电流发生变化时，保障以下三个功能：a，图像始终适时聚焦（不需重复按自动聚焦键）；b，图象衬度及分辨率自动最优化；c，视野中心基本不发生变动。

7.能胜任大WD的超级圆锥形物镜 (Super Conical Objective Lens)

在较大WD下仍能实现高分辨，如在能谱仪工作位置WD=10mm时，既能分析还可以高分辨观察；由于该物镜特性，粗糙表面样品也可以获得大景深清晰图象。

8.高感度半导体背散射电子探头 (High sensitivity semiconductor detector) （选项）

该探头感度很高，并能提供三种成像：成分像、形貌像和立体像。其中的立体像不仅立体感强，更实现了组成信息立体化显示（专利）。

9.多幅活图像同时显示 （Multi Live Image Display）

二次电子探头、背散射电子探头（选项）、STEM探头（选项）装配上时，它们的活图像可同时显示，观察的方式和组合形式可进行多样选择。

10. 操作导航器（Operation navigator）

引导和提示操作流程。维护作业动画导航。

11.全对中优中心样品台 (Eucentric Stage)

该样品台能保证样品平移、斜移或倾斜时，实现优中心动作，聚焦状态保持不变,而且该性能在WD=5mm~48mm全范围均可以实现。

12.分子泵真空系统或油扩散泵真空系统 （TMP System or DP System）

电镜的高真空系统可按要求配置油扩散泵+机械泵，或者分子泵+机械泵。(选项)

13.低真空功能 (Low Vacuum SEM)(选项)

对于非导电性样品或者导电性差的样品，采用低真空环境可以减缓样品的放电效应。

低真空范围：10Pa – 270Pa，低真空系统为独立真空系统，标配低真空防污染前置阱。

14.各种选项探测探头(Variety of Detectors Mounted)

可以选配高感度半导体背散射探头、能谱仪、波谱仪、EBSD探头、红外相机、低真空二次电子探头等。搭配JEOL能谱仪时，可实现扫描电镜和能谱仪一体化控制。